無塵車間風速和風量的檢測

單向流風速基本穩(wěn)定，氣流方向基本相同，進風口附近的風速與工作面風速差別不大，整個潔凈室風速也不大很好，通常可以忽略風速的均勻性。潔凈室對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。 。

非單向流各部分的風速和風向是不同的。整個無塵車間風速均勻性差。有必要考慮風速的均勻性。有時需要分別測量各部分的風速。測量風速時，需要預先判斷風向，因為一般風速儀的探頭具有方向性，所以測量風速時需要識別風向。

由于進入空氣的氣流是發(fā)散的，所以一般需要加上風帽來確定進風口的風速。

一種常用的用熱球風速計和熱球風速計測量風速的方法。熱球風速計的靈敏度一般較高，但穩(wěn)定性較差。因此，熱球風速計測量的風速應注意藥房：檢查風速表的外觀和工作狀態(tài)是否正常；在測量風速前糾正風速表的零點位置；測頭在校正零位置時應處于無風狀態(tài)；風速計探頭的迎風面在測量風速時應垂直于風向；等待顯示穩(wěn)定并重新讀取；風速計的探頭應小心防止接觸其他物體。

使用轉(zhuǎn)子式風速計測量風速。轉(zhuǎn)子風速計的轉(zhuǎn)子有一定的摩擦力，因此早期的轉(zhuǎn)子風速計靈敏度低，人們不喜歡它。隨著技術的發(fā)展，旋轉(zhuǎn)風速儀的靈敏度越來越高，越來越多的人使用旋轉(zhuǎn)風速計。要使用轉(zhuǎn)子式風速計確定風速，請注意以下幾點：檢查風速計的外觀和工作狀態(tài)是否正常;檢查軸的摩擦力是否正常;在測量風速時，應識別氣流的方向;轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)平面應垂直于風向;所有人都在呼吸道內(nèi);在開始閱讀之前等待顯示穩(wěn)定。

采用皮托管結合微氣泡儀測量風速。采用標準皮托管結合微壓計測量靜壓和總壓。動壓由靜壓和總壓計算，風速由動壓計算。一般來說，用標準皮托管測量風速更可靠。采用標準皮托管結合微氣泡儀測量風洞內(nèi)的標準風速。然而，該方法操作繁瑣，對微壓計測量精度高、靈敏度高。用皮托管測量風速時，應注意以下事項：檢查標準皮托管的進氣是否損壞；檢查標準皮托管是否堵塞；檢查連接皮托管的管道是否通暢；檢查顯示器是否顯示微型壓力表正常，標準皮托管的放置方向應準確。