術語：

在潔凈室設計規范GB50073-2001中，對潔凈室進行了以下三種定義：

空氣竣工潔凈室試驗

設施已建成，全部電力連接和運行，但沒有生產設備、材料和人員。無菌車間大部分凈化廠房尤其電子工業用的潔凈廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內的溫、濕度有嚴格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。無塵車間目前級別最高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間，物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。

靜態 at-rest

該設施已經完工，生產設備已在業主和工匠的同意下安裝和操作，但沒有生產人員。

動態 operational

該設施處于規定的運行狀態，具有指定人員并在商定的狀態下工作。

根據ISO14644，潔凈室試驗階段劃分如下：

檢測潔凈室的安裝(iq)

靜態潔凈室運行質量檢測（OQ）

動態潔凈室測試性能認證（PQ）

空潔凈室檢查（IQ）

檢查空的清洗室和安裝的設備是否符合設計，并至少檢查以下各點：

一、潔凈室設備組；

2.所有能量載體和過程介質的供應是否符合設計要求;

三。公用及輔助設備功能是否正常運行；

4、于是控制系統、監視器、報警報警核實日期；

5、安裝質量；

6.安裝過濾器的完整性；

7.電源和設備是否備份，包括空氣處理設備的風量;

8、壓差；

9、氣流特性；

10。保持結構的限制；

檢查循環空氣與室外空氣的比例是否符合設計要求；

12、表面潔凈度；

13、包內是否有備件。

檢查HEPA過濾器的完整性非常重要，這對ISO6，ISO5和更高級的凈化設備尤其重要。應檢查表面潔凈度和維護結構的密封性。

靜電潔凈室檢測

這一階段的測試至少應完成以下工作：

1.確認潔凈區域劃分原則是否符合要求；

2.確定污染程度增加后潔凈室的自潔時間參數;

三。測定溫度和相對濕度的穩定性。

4、根據顆粒的數量來確定潔凈度水平；

5、確定壓差；

6.表面潔凈度應根據所需部位的顆粒和微生物污染水平來確定；

7、確定照度；

8、確定噪聲級；

9.目視檢查氣流并使用必要的工具檢查換氣次數;

10。將數據結果寫入書面文檔。