沾染車(chē)間懸浮粒子濃度,假如利用高機(jī)能空氣供給體系可能實(shí)現(xiàn)零水平，然而實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)因?yàn)樽鳂I(yè)者、機(jī)器跟機(jī)械塵埃及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的整機(jī)資料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的塵埃粒子，因此導(dǎo)致了元件清潔面粒子的沾染。
如何把持車(chē)間微粒子濃度

　　1. 不攜入人、機(jī)、料進(jìn)沾染車(chē)間，不攜入微粒子

　　(1)進(jìn)入沾染車(chē)間者在更衣室要衣著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特別導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等，再通過(guò)風(fēng)淋室吹淋，高速清潔的氣流可除去附在衣服名義的粒子，吹淋結(jié)束才干進(jìn)入沾染車(chē)間。

　　(2)機(jī)器、資料進(jìn)沾染車(chē)間前，應(yīng)盡可能在密封狀況下帶進(jìn)沾染車(chē)間前室頤養(yǎng)后用水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞窗吹淋后才干進(jìn)入沾染車(chē)間。

　　(3)車(chē)間中須全程衣著密閉式保險(xiǎn)帽及佩戴附有過(guò)濾器的排氣用小型風(fēng)扇于腰間。凈化配件送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。潔凈室亦稱無(wú)塵車(chē)間、無(wú)塵室或清凈室。是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來(lái)源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。

　　2. 車(chē)間內(nèi)動(dòng)態(tài)環(huán)境下機(jī)、料的把持
在把持最大沾染源--人在沾染車(chē)間內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)把持第二大沾染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在挪動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在挪動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的產(chǎn)生。故為了把持發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

　　(1)減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作;

　　(2)采取磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);

　　(3)采取發(fā)塵小的潤(rùn)滑油;

　　3. 不貯備：
事實(shí)中人跟物品的頻繁出入及機(jī)臺(tái)的制動(dòng)(動(dòng)態(tài))，沾染車(chē)間要想達(dá)到動(dòng)態(tài)清潔級(jí)別，因此“不貯備”技巧疾速地在過(guò)濾器中利用以除去已產(chǎn)生的微粒子變得十分重要。凈化車(chē)間將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。通常已產(chǎn)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體名義。突發(fā)性的振動(dòng)及不牢固的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子沾染的危險(xiǎn)性。把持氣流可避免微粒子累積，但對(duì)帶電名義的微粒累積就無(wú)奈避免。為了避免由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在沾染車(chē)間內(nèi)會(huì)利用帶電水平在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性資料。而對(duì)制造品自身的帶電，則采取帶電水平很少的搬送狀況及接觸部品資料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

　　4. 除去
在無(wú)奈避免大量微粒子產(chǎn)生的機(jī)器上，為了避免在車(chē)間中產(chǎn)生微粒子，直接的外部排氣作用稱為局部排氣。廢氣排放的對(duì)策是:須要進(jìn)口等量的外部氣體，但同時(shí)也須要大量的能源消耗。所以這不是一個(gè)絕對(duì)幻想的策略。因此，盡可能在緊縮空氣度中，不僅要對(duì)沾染車(chē)間外的廢氣進(jìn)行排塵，還要采取空氣退塵后對(duì)沾染車(chē)間的應(yīng)答辦法。